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二重
SOI構造
による高温度用加速度センサ
二重SOI構造による高温度用加速度センサ
紙
図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
1994-1995
<Y151-H06555102>
国立国会図書館
件名
加速度センサ 高温度用
SOI構造
Al2O3膜 有限要素法 マイクロマシニング 二重
SOI構造
単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究
単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究
紙
図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
1998-2000
<Y151-H10450118>
国立国会図書館
件名
SOI構造
単結晶Al2O3薄膜 MBE法 エピタキシヤル成長 薄膜シ...
単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究
単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究
紙
図書
石田誠, 豊橋技術科学大学
1996-1997
<Y151-H08455144>
国立国会図書館
件名
SOI構造
Siエピタキシヤル成長 絶縁基板 MBE法 バツフア層 単...
極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究
極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究
紙
図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
1994-1996
<Y151-H06452216>
国立国会図書館
件名
選択エピタキシー 電子ビーム照射 Si/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成
SOI構造
Al2O3薄膜
結晶模型による半導体/絶縁膜界面物性の評価
結晶模型による半導体/絶縁膜界面物性の評価
紙
図書
大泊巌, 早稲田大学
1986-1988
<Y151-S61460069>
国立国会図書館
件名
界面構造 モデリング 分子軌道法 酸化過程
SOI構造
超薄膜Siヘテロエピタキシヤル
SOI構造
の形成と薄膜トランジスタへの応用
超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
紙
図書
中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学
1989-1991
<Y151-H01460140>
国立国会図書館
件名
SOI構造
Al2O3 薄膜トランジスタ 気相成長法 ガスソースMBE...
電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤル
SOI構造
の研究
電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究
紙
図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
1991-1992
<Y151-H03452155>
国立国会図書館
件名
Si選択エピタキシヤル成長 電子ビーム照射
SOI構造
ガスソースMBE Si/Al2O3/Si構造 電子ビーム描...
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