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TIARA
イオン注入装置
におけるイオン生成法の開発 (JAEA-technology ; 2008-90)
TIARAイオン注入装置におけるイオン生成法の開発 (JAEA-technology ; 2008-90)
紙
図書
山田圭介, 大越清紀, 齋藤勇一, 織茂貴雄, 大前昭臣, 山田尚人, 水橋清 [著]
日本原子力研究開発機構
2009.3
<Y251-J910>
国立国会図書館
全国の図書館
次世代高集積回路(LSI)用クラスター
イオン注入装置
の試作研究
次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
紙
図書
山田, 公, 京都大学
1992-1994
<Y151-H04555003>
国立国会図書館
MeV
イオン注入装置
(機械技術研究所資料 ; 第91号)
MeVイオン注入装置 (機械技術研究所資料 ; 第91号)
紙
図書
小木曽 久人 [著], 中野 禅 [著], 甲田 寿男 [著]
工業技術院機械技術研究所
1991
全国の図書館
次世代高集積回路(LSI)用クラスター
イオン注入装置
の試作研究
次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
紙
図書
山田公研究代表
[山田公]
1995.3
全国の図書館
「タンデム加速器及びその周辺技術の研究会」報告集 第20回 (JAEA-conf ; 2008-5)
「タンデム加速器及びその周辺技術の研究会」報告集 第20回 (JAEA-conf ; 2008-5)
紙
図書
松田誠 編
日本原子力研究開発機構
2008.3
<MC221-J4>
国立国会図書館
内容細目
... 酢屋徳啓 ほか著 TIARA
イオン注入装置
におけるイオン生成技術の開発 山田圭介 ほか著 シングルエン...
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