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Feature profile evolution in plasma processing using on-wafer monitoring system (Springer briefs in applied sciences and technology)
Feature profile evolution in plasma processing using on-wafer monitoring system (Springer briefs in applied sciences and technology)
紙
図書
Seiji Samukawa [著]
Springer
c2014
<MC241-B32>
国立国会図書館
低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製
低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製
紙
図書
寒川誠二, 東北大学 [著]
[寒川誠二]
2003-2005
<Y151-H15360016>
国立国会図書館
低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製
低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製
紙
図書
寒川誠二研究代表者
[寒川誠二]
2006.5
全国の図書館
電子サイクロトロン共鳴プラズマ法による半導体のサブミクロン加工に関する研究
電子サイクロトロン共鳴プラズマ法による半導体のサブミクロン加工に関する研究
紙
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
寒川誠二 [著]
<UT51-92-M164>
インターネットで読める
国立国会図書館
エッチング技術の最新動向
エッチング技術の最新動向
紙
図書
寒川誠二著
EDリサーチ社
2002.7
全国の図書館
プラズマ若手夏の学校テキスト 第43回
プラズマ若手夏の学校テキスト 第43回
紙
図書
プラズマ・核融合学会プラズマ若手グループ
[2004]
<MC241-H12>
国立国会図書館
プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会
プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会
紙
図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
2003.9
<MC241-H23>
国立国会図書館
UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
デジタル
文書・図像類
後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉
2000-03
インターネットで読める
全国の図書館
東北大学流体科学研究所報告
東北大学流体科学研究所報告
紙
雑誌
東北大学流体科学研究所 編
東北大学流体科学研究所
1990-
<Z15-669>
国立国会図書館
全国の図書館
電子情報通信学会誌
電子情報通信学会誌
紙
デジタル
雑誌
電子情報通信学会
1987-
<Z16-192>
国立国会図書館
全国の図書館
酸化防止剤に関する研究
酸化防止剤に関する研究
紙
博士論文
寒川誠二 [著]
<UT51-45-F100>
国立国会図書館
光技術コンタクト
光技術コンタクト
紙
デジタル
雑誌
光学工業技術協会
1987-
<Z15-362>
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
まぐね
まぐね
紙
雑誌
日本応用磁気学会
2006-
<Z74-E810>
国立国会図書館
全国の図書館
光アライアンス
光アライアンス
紙
デジタル
雑誌
光アライアンス編集委員会 編
日本工業出版
1990-
<Z16-2199>
国立国会図書館
全国の図書館
高圧ガス
高圧ガス
紙
デジタル
雑誌
高圧ガス保安協会 [編]
高圧ガス保安協会
1964-
<Z17-88>
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
化學工業
化學工業
紙
デジタル
雑誌
小峰工業出版
1950-2023
<Z17-54>
国立国会図書館
全国の図書館
電気学会誌
電気学会誌
紙
雑誌
電気学会
1994-
<Z16-177>
国立国会図書館
全国の図書館
プラズマ・核融合学会誌
プラズマ・核融合学会誌
紙
雑誌
プラズマ・核融合学会編集委員会 編
プラズマ・核融合学会編集委員会
1993-
<Z15-8>
国立国会図書館
全国の図書館
応用物理
応用物理
紙
雑誌
応用物理学会
1932-
<Z15-243>
国立国会図書館
全国の図書館
Journal of the Vacuum Society of Japan
Journal of the Vacuum Society of Japan
紙
雑誌
日本真空協会
2008-2017
<Z16-474>
国立国会図書館
全国の図書館
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