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イオン注入技術のサブミクロン超LSIへの応用に関する研究
イオン注入技術のサブミクロン超LSIへの応用に関する研究
紙
デジタル
博士論文
布施玄秀 [著]
<UT51-89-W433>
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目
布施, 玄秀
ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役 (K books series ; 79)
ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役 (K books series ; 79)
紙
図書
布施玄秀, 平尾孝 編著
工業調査会
1991.6
<ND371-E104>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目
布施, 玄秀
, 1951- 平尾, 孝, 1940-
超LSI製造・試験装置ガイドブック (電子材料別冊)
超LSI製造・試験装置ガイドブック (電子材料別冊)
紙
雑誌
工業調査会
1981-2009
<Z74-E698>
国立国会図書館
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
紙
雑誌
電子情報通信学会
1987-2020
<Z16-940>
国立国会図書館
全国の図書館
電子材料
電子材料
紙
デジタル
雑誌
工業調査会
1962-2010
<Z16-225>
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
紙
雑誌
電気化学会電子材料委員会
[19--]-
<Z43-2637>
国立国会図書館
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