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紙図書
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- 目次・記事... 1 はじめに 2 基本となるシリコン(Si)半導体の加工プロセスと......ライシング法の原理 3 単結晶シリコンのスライシング 4 単結晶Si......ング 1 ELID研削法 2 シリコンウェーハのELIDロータリ研削......3 ラッピング装置の機構 4 シリコンウエーハのラッピング 5 ラッ......変化 3 加工技術の特徴 4 シリコンウエハの両面同時ラッピング 5......エハの両面同時ラッピング 6 シリコンウエハの両頭研削技術 7 Si......機構 2 エッチング反応 3 シリコンエッチングプロセス 4 まとめ 第16章 シリコンおよび次世代デバイス材料のウェットエッチング加工 2 単結晶シリコンのウェットエッチング加工 3 ......れる超純水のレベル 第25章 シリコンウェーハ表面の精密洗浄技術 2......特徴 3 レーザ集光過程 4 シリコンへのパルスレーザ照射と改質域の性状 5 適用例の拡大と今後の...
- 件名シリコン (半導体) 化合物半導体
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- 目次・記事...1章 フォトニクス応用のためのシリコンの基礎<br/>第2章 集積シリコンフォトニクス<br/>第3章 モノリシックシリコン微小フォトニクス<br/>第4......<br/>第5章 モノリシックシリコン光源<br/>第6章 シリコン微小構造における誘導Raman......よび波長変換<br/>第7章 シリコン光受信器<br/>第8章 シリコン系導波路<br/>第9章 シリコン系フォトニック結晶<br/>第10章 波長分割多重化のためのシリコン系導波路技術<br/>第11章 シリコンデバイスによる光変調<br/>......と集積技術<br/>第12章 シリコン細線光導波路：基礎と応用<br......13章 クラッド応力設計によるシリコン光導波路部品の偏光制御<br/>第14章 回折格子を用いるシリコンナノ光集積回路と単一モード光フ......チップ光源のためのEr添加窒化シリコンと珪酸Erの開発と応用<br/>第16章 シリコンフォトニクスの可能性を広げるゲルマニウム<br/>第17章 シリコンフォトニクス：システムオンチップの展望<br/>第18章 シリコンプラットフォーム上の高速フォト......1章 高密度光相互接続のためのシリコン光インタポーザ<br/>第22章 シリコン量子フォトニクス<br/>第23章 温度無依存シリコンフォトニクス<br/>第24章 シリコンフォトニクスにおける設計フローの自動化：課題，連携，および標...
- 件名シリコン (半導体) オプトエレクトロニクス
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- 目次・記事第1章 シリコン貫通電極の重要性 1 LSIは......から3次元へ 2 3次元構造のシリコンデバイス 3 TSVデバイスの...... 第3章 TSV作成技術 1 シリコン深堀エッチング 2 ビアエッチ...... 銅フィリングめっき 9 ポリシリコン充填ビア 10 タングステン充......ングビア 2 エルピーダのポリシリコンビアDRAM 3 日立の常温接......ンサ 16 STマイクロのポリシリコンビア 17 CEA-Letiの......EAのイメージセンサ 第6章 シリコンTSVインターポーザ 1 イン......の電気的特性と熱特性 1 ポリシリコンビアの直流抵抗 2 タングステ......冷却構造 11 デバイス冷却用シリコンインターポーザ 12 新光電気のインターポーザレスパッケージ...
- 件名シリコン (半導体)
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- 内容細目...威 著 アボガドロ定数の測定とシリコン結晶の品質 藤本弘之, 早稲田......著 X線トポグラフィによるCZシリコン単結晶中格子欠陥の3次元分布 梶原堅太郎 著 シリコンの真正点欠陥研究の過去・現在・...... 井上直久 著 不完全な無転位シリコン結晶の多波長SL-X線による消......か著 X線トポグラフィから見たシリコン単結晶の完全性 川戸清爾 著 ......iro Yonenaga 著 シリコン単結晶利用研究 X線多重回折を用いた屈折コントラストイメージ...
- 件名シリコン (半導体) 単結晶
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- 件名化学気相堆積 / 窒化シリコン薄膜 / 炭窒化シリコン薄膜 / 有機窒化シリコン / 活性窒素 / 質量分析
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- 件名太陽電池 シリコン (半導体)--リサイクル
- 典拠情報（Author Heading/「を見よ」参照）...究所システム検証研究ラボ 薄膜シリコン系太陽電池開発研究ラボ ライフエレクトロニクス研究ラボ デジ...
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- 件名太陽電池 シリコン (半導体)