高橋, 隆一, 富山大学1991-1992<Y151-H03452153>
国立国会図書館
- 件名磁性材料 薄膜 磁気記録 記録媒体 スパツタ装置 トロイダルプラズマ プラズマフリー 中性粒子
高橋, 隆一, 富山大学1991-1992<Y151-H03555058>
国立国会図書館
- 件名トロイダルプラズマ プラズマフリー スパツタ装置 薄膜 半導体用電極材料 緻密・均一性 エレク...
直江, 正彦, 東京工業大学1987-1988<Y151-S62460117>
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- 件名光磁気記録媒体 巨大力 回転能材料 強磁性ホイスラ合金 人工格子型多層膜 交互堆積スパツタ法 プラズマフリー膜形成 対向ターゲツト式スパツタ装置