Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Journal of Vacuum Science & Technology
• 巻次・部編番号: B; 5(4)-5(6):1987.7/1987.8-1987.11/1987.12
• 部編名: Microelectronics Processing and Phenomena
• 出版事項: New York, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
• 出版年月日等: 1987
• 出版年（W3CDTF）: 1987
• ISSN（掲載誌）: 0734-211X
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZM35; ZN33
• 一般注記: Description based on the latest issue; "An Official Publication of the American Vacuum Society"
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z53-Y133
• 改題前: 分割前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000126556
• 改題後: 継続後 : Journal of Vacuum Science & Technology. B; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156914
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000131403; http://id.ndl.go.jp/bib/000000131403
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則