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- Subject Heading銅配線 / ルテニウム / プラズマCVD / 異方性製膜 / イオンアシスト製膜 / スパッタリング / ナノ構造 / LSI
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- Subject Heading低温結晶成長 化合物半導体薄膜 ヘテロエピタキシ- ドライプロセス イオンアシスト 光学材料 電子ビ-ム蒸着 スパツタリング
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- Subject Heading表面処理技術 プロセスプラズマ 低摩擦膜 インバーター ダイヤモンド薄膜 トライボロジー パルスグロー イオンアシスト
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- Subject Heading低温成長 化合物半導体薄膜 ヘテロエピタキシー ドライプロセス イオンアシスト 光学材料 電子ビーム蒸着 スパツタリング
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- Subject Headingイオンアシスト法 有機物質 蒸着薄膜 金属キノリノール錯体 トリフエニルジ...
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- Subject Headingイオンビームスパツタ成膜 イオンアシスト セラミツクス TiN薄膜 TiO2薄膜 AIN薄膜 結晶配...
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