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粒界ディープレベルと疲労損傷との関連によるポリシリコンの新しい信頼性評価

粒界ディープレベルと疲労損傷との関連によるポリシリコンの新しい信頼性評価
Paper図書
神谷庄司, 名古屋工業大学 [著][神谷庄司]2004-2006<Y151-H16360047>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体材料 / 多結晶粒界 / 準位 / ポリシリコン

水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化

水素とラマン分光を用いた薄膜型情報機器用ポリシリコンの高性能化
Paper図書
北原邦紀, 島根大学 [著][北原邦紀]2005-2006<Y151-H17560284>
National Diet Library
  • Subject Headingポリシリコン / アモルファスシリコン / 粒界 / 欠陥 / 水素 /...

薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作

薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作
Paper図書
駒井, 謙治郎, 京都大学2001-2002<Y151-H13555025>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロマテリアル 薄膜 機械的特性 引張試験 微小部ひずみ測定 ポリシリコン薄膜 疲労試験 弾性係数

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
Paper図書
村上, 浩一, 筑波大学1999-2001<Y151-H11555001>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン 水素 水素分子 Si-H結合 ラマン散乱 レーザーアニール ポリシリコン化 水素複合体中心

有機LEDアクテイブマトリツクス駆動フルカラーデイスプレイに関する共同研究

有機LEDアクテイブマトリツクス駆動フルカラーデイスプレイに関する共同研究
Paper図書
服部, 励治, 九州大学1999-2001<Y151-H11694167>
National Diet Library
  • Subject Heading有機LED デイスプレイ アクテイブマトリツクス駆動 薄膜トランジスター 中間調表示 アモルフアスシリコン ポリシリコン

シヨツトキー接合を用いたトンネル電流制御形薄膜トランジスターの開発

シヨツトキー接合を用いたトンネル電流制御形薄膜トランジスターの開発
Paper図書
白藤, 純嗣, 福井工業大学1996-1997<Y151-H08555086>
National Diet Library
  • Subject Headingシヨツトキー障壁 トンネル電流 薄膜トランジスター ポリシリコン リーク電流 シリサイド フラツトパネルデイスプレイ

高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究

高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究
Digital博士論文
平松, 雅人奈良先端科学技術大学院大学2012-12-21
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading大粒径 ポリシリコン 薄膜トランジスタ レーザ結晶化 位相変調法

トレンチ素子分離プロセス用ポリシリコンCMP法の開発に関する研究

トレンチ素子分離プロセス用ポリシリコンCMP法の開発に関する研究
Digital博士論文
宮下, 直人2002-01-01p.1-182
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject HeadingCMP ポリシリコン トレンチ 素子分離 洗浄

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