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- Subject Headingスパツタリング 低温プロセス シリコンエピタキシヤル成長 低エネルギイオン照射 Cu配線 Al配線 超高密度LSI
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- Subject Heading超高速LSI LSI用配線技術 アルミニウム配線 銅配線 スパツタリング 低エネルギイオン照射 エピタキシヤル成長
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- Subject Headingメタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術 超高速配線 エレクトロマイグレーシヨン 低エネルギイオン照射プロセス NON ALLOYING CONTACT
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- Subject Headingバイアススパツタ 低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタキシヤル成長 エピタキ...
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