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プラスチックフィルム基板上への低抵抗・高密着性透明導電膜の高速成膜技術の開発

プラスチックフィルム基板上への低抵抗・高密着性透明導電膜の高速成膜技術の開発
Paper図書
星陽一, 東京工芸大学 [著][星陽一]2004-2005<Y151-H16560281>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 / スパッタ法 / プラスチック基板 / 低温成膜 / 応力フリー / 低ダメージ / 高速成膜 / ITO

ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究

ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究
Paper図書
犬島, 喬, 東海大学1999-2000<Y151-H11650332>
National Diet Library
  • Subject HeadingSAWフイルタ ダイヤモンド AlN 薄膜作成法 MOCVD ECR共鳴点成膜法 低温成膜 ラム波

高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
Paper図書
芳井, 熊安, 大阪大学1995-1996<Y151-H07455065>
National Diet Library
  • Subject HeadingSi薄膜 多結晶 低温成膜 高周波スパツタ蒸着法

液体窒素温度成膜法による薄膜ヘッド用高飽和磁化軟磁性薄膜の開発

液体窒素温度成膜法による薄膜ヘッド用高飽和磁化軟磁性薄膜の開発
Paper図書
星陽一, 東京工芸大学 [著][星陽一]2001-2003<Y151-H13650357>
National Diet Library
  • Subject Headingスパッタ / 軟磁性薄膜 / 低電圧スパッタ / 高飽和磁化 / パルススパッタ / 低温成膜 / 純鉄膜 / Fe-Co合金

イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究
Paper図書
森, 勇蔵, 大阪大学1993-1994<Y151-H05452126>
National Diet Library
  • Subject Headingイオンガン 表面改質 シリコン 薄膜 低温成膜

透明導電性薄膜の作製に関する研究

透明導電性薄膜の作製に関する研究
Paper図書
三浦, 嘉也, 岡山大学1995-1996<Y151-H07555670>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 活性化反応蒸着法 酸化亜鉛 低温成膜 酸化アルミニウム

イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-

イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-
Paper図書
山内, 和人, 大阪大学1995-1996<Y151-H07555040>
National Diet Library
  • Subject Headingイオン照射 シリコン薄膜 低温成膜 基板改質 多結晶 液体金属イオン源

化学気相析出(CVD)法による酸化物高温超伝導体の線材化

化学気相析出(CVD)法による酸化物高温超伝導体の線材化
Paper図書
平井, 敏雄, 東北大学1990-1991<Y151-H02555146>
National Diet Library
  • Subject Heading酸化物高温超伝導体 化学気相析出法 金属基体 超伝導転移温度 臨界電流密度 磁場依在性 結晶配向 低温成膜

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