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常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ
Paper図書
須賀唯知, 東京大学 [著][須賀唯知]2004-2006<Y151-H16201028>
National Diet Library
  • Subject Heading酸素プラズマ / 低温接合 / 常温接合 / 表面活性化 / サファイア接合 / ウエ...

イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究
Paper図書
高橋, 平七郎, 北海道大学1995-1997<Y151-H07455251>
National Diet Library
  • Subject Heading表面改質 シリサイド ミキシング 耐酸化 照射促進拡散 点欠陥 接合界面 低温接合

圧電材料の低温接合とその応用に関する研究

圧電材料の低温接合とその応用に関する研究
Paper図書
須賀, 唯知, 東京大学1993-1994<Y151-H05452289>
National Diet Library
  • Subject Heading圧電材料 低温接合 常温接合 陽極接合 シリコン イオン衝撃 ラジカルビーム ...

生体情報計測マイクロシステムのための集積化技術およびパツケージング技術の研究

生体情報計測マイクロシステムのための集積化技術およびパツケージング技術の研究
Paper図書
庄子, 習一, 早稲田大学1997-1998<Y151-H09650491>
National Diet Library
  • Subject Heading生体情報計測 マイクロシステム マイクロパツケージング 低温接合技術 電気的フイードスルー マイクロポーラスシリコン 陽極化...

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