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光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー

光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー
Paper図書
渋谷眞人, 東京工芸大学 [著][渋谷眞人]2003-2004<Y151-H15560036>
National Diet Library
  • Subject Heading超解像 / 量子光学 / 光リソグラフィー

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発
Paper図書
福田, 承生, 東北大学2000-2001<Y151-H12555001>
National Diet Library
  • Subject HeadingLiCaAlF6 KMgF3 BaLiF3 F2レーザー 光リソグラフイー 硝材 真空紫外域 単結晶

157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発

157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発
Paper図書
生嶋, 明, 豊田工業大学2000-2001<Y151-H12355025>
National Diet Library
  • Subject Headingシリカガラス 光リソグラフイー 構造緩和 ガラス転移 エキシマレーザー

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
Paper図書
河合, 晃, 長岡技術科学大学1998-2000<Y151-H10650332>
National Diet Library
  • Subject Heading原子間力顕微鏡 光リソグラフイー フオトレジストパターン 接着力 有限要素法 摩擦力 凝集破...

VUVマイクロ加工

VUVマイクロ加工
Paper図書
杉村博之, 京都大学 [著][杉村博之]2005-2007<Y151-H17206073>
National Diet Library

軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究

軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究
Paper図書
堀内敏行, 東京電機大学 [著][堀内敏行]2005-2006<Y151-H17560036>
National Diet Library

単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
Paper図書
杉村博之, 京都大学, 名古屋大学 [著][杉村博之]2002-2004<Y151-H14205107>
National Diet Library

自己集積化単分子膜の微細加工と金ナノ粒子アレイ構築

自己集積化単分子膜の微細加工と金ナノ粒子アレイ構築
Digital博士論文
Yang, Jeong Hyeon京都大学 (Kyoto University)2012-03-26
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...ayer 金ナノ粒子 真空紫外光リソグラフィー 走査プローブリソグラフィ 自己集積化単分子膜

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