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次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究

Paper図書

周立波, 茨城大学 [著][周立波]2004-2006<Y151-H16360061>

National Diet Library

Subject Heading極薄Siウエハ / 固定砥粒加工技術 / 加工変質層 / パワー・デバイス / 化学・機械融合加工 / 無歪み ...

600m/s超高速・ナノメータオーダ超精密加工機械の開発に関する研究

Paper図書

清水, 淳, 茨城大学1999-2000<Y151-H11650115>

National Diet Library

Subject Heading超高速加工超精密加工研削塑性波砥石風損加工変質層表面性状

ボ-ルエンドミル加工における表面キヤラクタリゼ-シヨンに関する研究

Paper図書

是田, 規之, 崇城大学2000-2002<Y151-H12650130>

National Diet Library

Subject Headingボ-ルエンドミル表面粗さ工具軸傾斜被削性転写性加工変質層マグネシユウム合金プリハ-ドン鋼

酸化現象を利用した超硬合金金型のみがき工程短縮化に関する研究

Paper図書

田村, 武夫, 新潟大学1996-1997<Y151-H08650838>

National Diet Library

Subject Heading放電加工超硬合金高温酸化現象表面改質放電加工変質層誘導加熱金型

ダイヤモンド単結晶および膜の加工面性状に関する研究

Paper図書

戸倉, 和, 東京工業大学1996-1997<Y151-H08455072>

National Diet Library

Subject Headingダイヤモンド単結晶ダイヤモンド膜ダイヤモン砥石研磨加工変質層空気腐食水素プラズマ腐食摩耗機構

シリコン結晶のシエアモード研削と加工変質層の評価

Paper図書

荻田, 陽一郎, 神奈川工科大学1998-2000<Y151-H10045053>

National Diet Library

Subject Headingシエアモード研削シリコンウエーハ研削加工変質層研削ホイール超音波振動研削エンジニアリングツール鏡面...

表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

Paper図書

山内, 和人, 大阪大学1994-1995<Y151-H06650143>

National Diet Library

Subject Heading表面光起電力シリコン表面電子準位微弱表面電位計測システム EEM 超精密加工面非接触加工変質層

チタン合金のダイヤモンド砥石による高品位、高能率研削仕上面の品位に関する研究

Paper図書

熊谷, 信男, 関西大学1992-1993<Y151-H04650121>

National Diet Library

Subject Headingチタン合金研削仕上面品位研削残留応力研削加工特性疲れ強さ研削加工変質層表面性状ダイヤモンド砥石

超短パルス高出力フラッシュランプ照射による単結晶シリコン加工変質層の完全修復

Digital文書・図像類

閻, 紀旺2012科学研究費補助金研究成果報告書

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Subject Heading超精密加工,加工変質層,単結晶シリコン,フラッシュランプ,レーザ
Note (General)...晶シリコン機械加工面に照射し、加工変質層の修復を試みた. 表層アモルフ......象として照射実験を行った結果、加工変質層の修復効果が確認された。一方、問題点として、照射時の衝撃波に...

超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究

Paper図書

佐藤, 寿芳, 東京大学1985-1986<Y151-S60460088>

National Diet Library

Subject Heading表面性状加工変質層評価超音波顕微鏡 V (z) 曲線表面弾性波空間反射...

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