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- Subject Headingフツ素 水素終端Si表面 フツ素終端Si表面 XPS 原子層エツチング 2原子層酸化 水素ラジカル (NH4) 2SiF6
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- Subject Heading原子層エツチング シリコン 自己制限型 ECRプラズマ 塩素 低エネルギーイ...
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- Subject Headingラングミユア吸着・反応 IV族半導体 極微細デバイス 原子層成長 表面処理 原子層エツチング 水素終端 低温ヘテロエピタキシヤル成長
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- Subject Heading原子層エツチング 自己制限型吸着 シリコン 面方位依存性 ECR塩素プラズマ...
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