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高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究

高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究
Paper図書
原, 徹, 法政大学2000-2002<Y151-H12650323>
National Diet Library
  • Subject Heading超LSI高速化 多層配線層 低誘電率層間膜 耐熱性向上 定着力向上 界面反応

超LSI多層配線Al CVD装置の開発

超LSI多層配線Al CVD装置の開発
Paper図書
坪内, 和夫, 東北大学1996-1998<Y151-H08555073>
National Diet Library
  • Subject Heading多層配線 Al CVD ClF3クリーニング クラスター装置

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御
Paper図書
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 拡散速度

多層構造LSIにおける配線孔接続のリフロープロセス解析

多層構造LSIにおける配線孔接続のリフロープロセス解析
Paper図書
北村, 隆行, 京都大学1995-1996<Y151-H07650100>
National Diet Library
  • Subject HeadingLSI 多層配線 ビア孔 リフロー 表面拡散 計算機シミユレーシヨン 差分法...

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