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細束イオンビームによる高感度正負二次イオン像同時観察法の研究

細束イオンビームによる高感度正負二次イオン像同時観察法の研究
Paper図書
関節子, 拓殖大学 [著][関節子]2002-2004<Y151-H14550028>
National Diet Library
  • Subject Heading正負二次イオン同時検出 / 二次イオン像 / 液体金属イオン源 / 集束イオンビーム / SIMS / FIB / LMI...

イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-

イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-
Paper図書
山内, 和人, 大阪大学1995-1996<Y151-H07555040>
National Diet Library
  • Subject Headingイオン照射 シリコン薄膜 低温成膜 基板改質 多結晶 液体金属イオン源

シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究

シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究
Paper図書
大泊, 巌, 早稲田大学2000-2002<Y151-H12555092>
National Diet Library
  • Subject Headingシングルイオン注入法 集束イオンビ-ム 液体金属イオン源 不純物ゆらぎ 同時ド-ピング ELTRAN ド-パント原子...

大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1991-1993<Y151-H03555002>
National Diet Library
  • Subject Heading大電流イオンビーム 液体金属イオン源 含浸電極 多点放出 表面処理 ビームプロフアイル シートビ...

大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1989-1990<Y151-H01460076>
National Diet Library
  • Subject Heading大電流イオンビーム 液体金属イオン源 含浸電極 多点放出 単体金属イオン 蒸着膜 結晶性制御 界...

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