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半導体表面における水素の生態とダイナミクス

半導体表面における水素の生態とダイナミクス
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1995-1996<Y151-H07305049>
National Diet Library
  • Subject Heading表面水素 水素生態 イオンビーム STM エピタキシー

超高感度表面水素3次元検出装置の開発

超高感度表面水素3次元検出装置の開発
Paper図書
山崎, 泰規, 東京大学1995-1997<Y151-H07555006>
National Diet Library
  • Subject Heading多価イオン 表面水素 ポテンシヤルスパツタリング 水素検出

表面局所における水素生態計測とその極微プロセス技術への応用

表面局所における水素生態計測とその極微プロセス技術への応用
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1998-2000<Y151-H10355002>
National Diet Library
  • Subject Heading表面水素 水素生態 表面局所プロセス イオン反跳分光 自己組織化 水...

新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用

新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1996-1997<Y151-H08555009>
National Diet Library
  • Subject Heading表面水素 界面水素 イオンビーム スパツタリング 複合水素分析

水素終端シリコン表面における低温ヘテロエピキタシー

水素終端シリコン表面における低温ヘテロエピキタシー
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1994-1996<Y151-H06402025>
National Diet Library
  • Subject Heading表面水素 イオンビーム STM エピキタシー 金属/シリコン界面

極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾
Paper図書
尾浦, 憲冶郎, 大阪大学1997-1998<Y151-H09450017>
National Diet Library
  • Subject Heading電子刺激脱離 極低エネルギー電子 表面水素 脱離断面積 水素終端 イオンビーム

水素媒介エピタキシーに関する共同研究

水素媒介エピタキシーに関する共同研究
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1996-1998<Y151-H08044146>
National Diet Library
  • Subject Heading水素媒介エピタキシー 表面水素 金属/シリコン界面 デルタドープ構造 イオンビーム STM

励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察

励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察
Paper図書
片山, 光浩, 大阪大学2000-2002<Y151-H12305005>
National Diet Library
  • Subject Heading励起ガス雰囲気下表面プロセス 低速イオン散乱反跳分光法 全反射赤外分光法 表面水素 吸着状態 プラズマ 励起原子照射 表面窒化

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓
Paper図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1999-2001<Y151-H11305006>
National Diet Library
  • Subject Heading気相雰囲気下半導体表面プロセス CAICISS TOF-ERDA 表面水素 水素サーフアクタント効果 イオンビームその場計測 気相成長...

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