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半導体表面における水素の生態とダイナミクス

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1995-1996<Y151-H07305049>

National Diet Library

Subject Heading表面水素水素生態イオンビーム STM エピタキシー

超高感度表面水素3次元検出装置の開発

Paper図書

山崎, 泰規, 東京大学1995-1997<Y151-H07555006>

National Diet Library

Subject Heading多価イオン表面水素ポテンシヤルスパツタリング水素検出

表面局所における水素生態計測とその極微プロセス技術への応用

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1998-2000<Y151-H10355002>

National Diet Library

Subject Heading表面水素水素生態表面局所プロセスイオン反跳分光自己組織化水...

新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1996-1997<Y151-H08555009>

National Diet Library

Subject Heading表面水素界面水素イオンビームスパツタリング複合水素分析

水素終端シリコン表面における低温ヘテロエピキタシー

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1994-1996<Y151-H06402025>

National Diet Library

Subject Heading表面水素イオンビーム STM エピキタシー金属/シリコン界面

極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

Paper図書

尾浦, 憲冶郎, 大阪大学1997-1998<Y151-H09450017>

National Diet Library

Subject Heading電子刺激脱離極低エネルギー電子表面水素脱離断面積水素終端イオンビーム

水素媒介エピタキシーに関する共同研究

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1996-1998<Y151-H08044146>

National Diet Library

Subject Heading水素媒介エピタキシー表面水素金属/シリコン界面デルタドープ構造イオンビーム STM

励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察

Paper図書

片山, 光浩, 大阪大学2000-2002<Y151-H12305005>

National Diet Library

Subject Heading励起ガス雰囲気下表面プロセス低速イオン散乱反跳分光法全反射赤外分光法表面水素吸着状態プラズマ励起原子照射表面窒化

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1999-2001<Y151-H11305006>

National Diet Library

Subject Heading気相雰囲気下半導体表面プロセス CAICISS TOF-ERDA 表面水素水素サーフアクタント効果イオンビームその場計測気相成長...

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