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- Authority(Subject Heading/altLabel)分子ビーム 電子線 イオン線 Molecular beams 電子ビーム Electron beams Ion bombardmen...
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)量子ビーム 分子 陽極線 陰極線 イオンビーム加工 電子 イオン 電子回折 電子ビーム加工
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- Authority(Subject Heading/altLabel)電子線 電子ビーム Electron beams
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)量子ビーム 陰極線 電子 電子回折 電子ビーム加工
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- Subject Heading電子ビーム / 金型 / 表面仕上げ / 表面改質 / 表面処理
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- Authority(Subject Heading/altLabel)フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Subject Headingボイドスエリング / 陽電子ビーム / ニッケル / イオン照射
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- Toc / Article第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写 第2章 並列電子ビーム描画の課題 第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源 第4章 超並列電子ビーム描画(MPEBW) 第5章 応用と今後の課題
- Summary, etc.並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
- Authority(Subject Heading/altLabel)電子線 超小型回路 電子ビーム Electron beams IC Integrated ...
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- Authority(Subject Heading/altLabel)フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Subject Heading次世代放射光 / ERL / エミッタンス / 非慣性空間電荷 / 電子ビーム
Digital博士論文障害者向け資料あり
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Headingプラズマ ホローカソード 電子ビーム 電子銃 プラズマウィンドウ Plasma Hollow c...
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- Authority(Subject Heading/altLabel)電子線 電子ビーム Electron beams
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)量子ビーム 陰極線 電子 電子回折 電子ビーム加工
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- Subject Heading高品質電子ビーム / 逆コンプトン散乱 / 軟X線発生 / 顕微鏡
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- Subject Heading電子ビーム / ストレッチャー / ビーム取り出し / 加速器
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- Authority(Subject Heading/altLabel)フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Subject Headingテラヘルツ波 / サブミリ波 / パルスパワー / 相対論的電子ビーム / 遠赤外光源
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- Authority(Subject Heading/altLabel)フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Subject Headingパルス大電流電子ビーム トランスポート 環境汚染ガス ガス分解 NOx 電子ビーム
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- Subject Heading電子ビーム / 揮発性有機化合物 / パルスパワー / プラズマ応用 ...