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- Subject Headingカーボンナノウォール / 形状制御 / ラマン分光法 / 電界放出特性 / 酸化マグネシウム / 電子ビーム蒸着 / 仕事関数
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- Subject Heading超伝導トンネル接合 超高真空電子ビーム蒸着 超伝導Nb薄膜 AlOxトンネルバリア SiO2層間絶縁膜
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- Subject Heading低温結晶成長 化合物半導体薄膜 ヘテロエピタキシ- ドライプロセス イオンアシスト 光学材料 電子ビ-ム蒸着 スパツタリング
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- Subject Heading低温成長 化合物半導体薄膜 ヘテロエピタキシー ドライプロセス イオンアシスト 光学材料 電子ビーム蒸着 スパツタリング
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- Subject Heading化合物半導体 層状化合物 光導電材料 電子ビーム蒸着 RFスパツタリング 光センサー材料 光変調素子
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- Subject HeadingSOFC インコネル ジルコニア薄膜セル 空気極集電法 電子ビーム蒸着法 熱応力緩和 スタツク技術 セルの応力分布
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- Subject Headingセラミツクスイエ格子 電子ビーム蒸着装置 活性化反応蒸着 機能性薄膜
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- Subject Heading完全反転型SOI MOSFET 低闘値電圧 低サブスレツシヨルド係数 高相互コンダクタンス 完全反転臨界膜厚 短チヤネル効果 電子ビーム蒸着装置 トツプシリコン層