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大きな誘電率を持つSrTiO3極薄基板を用いたFETによる超伝導の発現

Paper図書

寺嶋孝仁, 京都大学 [著][寺嶋孝仁]2002-2003<Y151-H14340218>

National Diet Library

Subject HeadingFET / 高誘導率 / SrTiO_3 / 極薄基板 / 電子線リソグラフィー

反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発

Paper図書

伊藤, 和男, 群馬大学2001-2002<Y151-H13650368>

National Diet Library

Subject Heading反応性イオンエツチング電子線リソグラフイ三次元形状パタ-ン転写

量子ナノ構造を用いる低消費電力・高機能単一波長半導体レーザの研究

Paper図書

荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2005-2007<Y151-H17206010>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ / 量子細線レーザ / DFBレーザ / 分布反射型レーザ / GaInAsP混晶 / 電子線リソグラフィ / 低損傷ドライエッチング / 半導体薄膜レーザ

InP系HBTでのコレクタ層内バリステック電子走行による超高速動作に関する研究

Paper図書

宮本恭幸, 東京工業大学 [著][宮本恭幸]2004-2006<Y151-H16360170>

National Diet Library

Subject Headingヘテロ接合バイポーラトランジスタ / InP / 電子線リソグラフィー / バリステック電子走行 / コレクタ容量 / 極小エミ...

細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学2000-2002<Y151-H12555098>

National Diet Library

Subject Heading半導体レ-ザ単一波長レ-ザ分布反射型レ-ザ分布帰還レ-ザ GalnAsP混晶電子線リソグラフイ- 極微構造形成法ドライエツチング

歪補償低次元量子構造を用いる高性能レーザと新機能光デバイスの研究

Paper図書

荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2001-2003<Y151-H13305021>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ / 量子細線レーザ / 歪量子細線レーザ / 多重極微共振器レーザ / GalnAsP混晶 / 電子線リソグラフィー / 有機金属気相成長法 / ドライエッチング

Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head : ハイブリツト磁性体の微細化プロセスとトンネル再生磁気ヘツドの作製

Paper図書

宮崎, 照宣, 東北大学1999-2001<Y151-H11355001>

National Diet Library

Subject Headingスピントンネル磁気抵抗効果トンネル接合再生磁気ヘツドデバイス微細加工アルゴンイオンミリング電子線リソグラフイーラジカル酸化絶縁障壁

二軸性歪を有する半導体量子細線・量子箱構造の試作およびその光デバイス応用

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学1998-2000<Y151-H10450115>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ量子細線レーザ歪量子細線レーザ多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶電子線リソグラフイー有機金属気相成長法ドライエツチング

歪量子細線を用いる多重極微共振器半導体レーザに関する研究

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学1995-1996<Y151-H07455418>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ量子細線レーザ歪量子細線レーザ多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶電子線リソグラフイー有機金属気相成長法ドライエツチング

高融点金属酸化物耐熱性レジストのSi微細加工への応用

Paper図書

馬場, 守, 岩手大学1987-1988<Y151-S62550217>

National Diet Library

Subject Heading電子線リソグラフイ無機レジスト不純物拡散高融点金属リフトオフスバツタ...

プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

Paper図書

森田, 慎三, 名古屋大学1989-1992<Y151-H01460101>

National Diet Library

Subject Headingプラズマ重合レジスト電子線リソグラフイ立体加工法プラズマ重合スチレンネガレジストプラズマ重合α...

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