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- Subject Heading位置決め / 工作機械 / 静圧軸受 / 能動制御 / 自成絞り / 静圧継ぎ手 / ナノテクノロジ
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- Subject Heading静圧空気軸受 / 真空度 / 位置決め機構 / 表面絞り
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- Subject Heading回転機械 空気静圧軸受 計測機器 軸受 真円度測定 静圧軸受 精密機械 メカトロニクス
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- Subject Heading精密位置決め / 水平多関節型機構 / SCARA型ロボット / 関節駆動機構 / 空気静圧軸受
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- Subject Heading位置決め / 工作機械 / ナノテクノロジ / 静圧軸受 / 超精密加工 / 摩擦駆動 / 能動制御
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- Subject Heading静圧型空気軸受 / 多孔質 / 高速安定性 / 浮動ブッシュ /...
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- Subject Heading静圧空気軸受 高真空 位置決め機構 非接触案内 シール性能
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- Subject Heading空気静圧スラスト軸受 / 軸受面 / 傾き剛性 / 有限要素法
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- Subject Heading自然風 角柱 静圧 レイノルズ数 高機能型AD変換システム
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- Subject Headingハイブリッド軸受 / 静圧軸受 / 極低温流体 / ロケットターボポンプ
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- Subject Heading流体制御 空気圧 プロセス機器 発電器 バイブレ-タ 効率解析 静圧軸受
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- Subject Heading超精密工作機械 / スピンドル装置 / 静圧軸受 / 流体駆動モータ / メゾスケール / マイクロファ...
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- Subject Heading圧電素子 位置決め 空気静圧案内面 真直度 静圧軸受 静剛性 ナノテクノロジ 能動制御
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- Subject Heading噴流 ノズル 速度分布 静圧分布 乱れ 拡散 熱線 回転プローブ法
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- Subject Headingナノメートル位置決め / 空気静圧案内 / リニアモータ / 高速・超精密スピンドル / 熱変...