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次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御
Paper図書
徳光, 永輔, 東北大学2000-2002<Y151-H12450121>
National Diet Library
  • Subject Heading高誘電率材料 ゲ-ト絶縁膜 MOSFET ゾルゲル法 分子線蒸着法 Hf...

高誘電体/シリコン界面形成の原子スケール制御による高品質界面の実現

高誘電体/シリコン界面形成の原子スケール制御による高品質界面の実現
Paper図書
野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2004-2005<Y151-H16560026>
National Diet Library
  • Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希...

角度分解X線光電子分光法による高誘電体薄膜/シリコン界面構造の深さ方向分析

角度分解X線光電子分光法による高誘電体薄膜/シリコン界面構造の深さ方向分析
Paper図書
野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2002-2003<Y151-H14550029>
National Diet Library
  • Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希...

超微細シリコンLSIに用いられる高誘電率薄膜中の欠陥の構造と生成機構の解明

超微細シリコンLSIに用いられる高誘電率薄膜中の欠陥の構造と生成機構の解明
Paper図書
大木義路, 早稲田大学 [著][大木義路]2004-2006<Y151-H16360160>
National Diet Library
  • Subject Headingゲート絶縁膜 / 高誘電率材料 / ハフニウムシリケート / ジルコニウムシリケート / ...

巨大電界効果を利用した可変面積電極の提案と可変容量キャパシタへの展開

巨大電界効果を利用した可変面積電極の提案と可変容量キャパシタへの展開
Digitalその他
徳光, 永輔2015-06-02科学研究費助成事業研究成果報告書p.1-5
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  • Subject Heading薄膜トランジスタ 可変容量キャパシタ 強誘電体 高誘電率材料 酸化物半導体
  • Note (General)...密度を誘起できる強誘電体または高誘電率材料を用いて、面積を可変できる酸化......件の最適化と溶液プロセスによる高誘電率材料の探索を実施した。次にITOまたはIn2O3をチャネルに用い...

単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
Digitalその他
近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也2005-04
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...ラップ 高誘電率ゲート絶縁膜 高誘電率材料

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