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- Subject Heading高誘電率材料 ゲ-ト絶縁膜 MOSFET ゾルゲル法 分子線蒸着法 Hf...
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- Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希...
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- Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希...
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- Subject Headingゲート絶縁膜 / 高誘電率材料 / ハフニウムシリケート / ジルコニウムシリケート / ...
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- Subject Heading薄膜トランジスタ 可変容量キャパシタ 強誘電体 高誘電率材料 酸化物半導体
- Note (General)本研究の目的は、大きな電荷密度を誘起できる強誘電体または高誘電率材料を用いて、面積を可変できる酸化......件の最適化と溶液プロセスによる高誘電率材料の探索を実施した。次にITOまたはIn2O3をチャネルに用い...
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- Subject Heading...ラップ 高誘電率ゲート絶縁膜 高誘電率材料