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Paper図書
National Diet Library
- Subject HeadingEUV / コヒーレントX線 / 高次高調波 / 超短パルスレーザー / EUVリソグラフィ / フェムト秒レーザー / 軟X線光学 / 干...
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- Subject HeadingX線顕微鏡 / EUVリソグラフィ / 欠陥検査 / 位相欠陥 / ミラウ干渉 /...
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- Subject Headingデブリフリー / EUV光源 / 同軸二重ノズル / Zピンチ / ガスカーテン /...
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- Subject Heading極端紫外線 / 超伝導トンネル接合素子 / 2次元アレイ / EUV / STJ
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- Subject Heading...ustizbarometer EUV Art. 7 EUV Einstweilige A......t EGMR Art. 19 EUV Europäische Gr......rlament Art. 2 EUV Europäisches Semester EU-Just...
- Subject Heading (ID)...ustizbarometer EUV Art. 7 EUV Einstweilige A......t EGMR Art. 19 EUV Europäische Gr......rlament Art. 2 EUV Europäisches Semester EU-Just...
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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Heading...rrecht Europa AEUV EUV (Produktrabattgruppe)NG: NG-R...
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- Subject Heading...s. Lithography EUV
- Alternative TitleExtreme ultraviolet (EUV) lithography 5 : 24-27 Februa...
- Alternative TitleExtreme ultraviolet (EUV) lithography 5 : 24-27 Februa...
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- Subject Heading...che Verfassung EUV Reform der EU EU-Außenpolitik...
- Subject Heading (ID)...che Verfassung EUV Reform der EU EU-Außenpolitik...
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- Subject Heading...ses. Metrology EUV optics
- Alternative Title... for x-ray and EUV optics 5 : 18 August 2014 : S...
- Alternative Title... for x-ray and EUV optics 5 : 18 August 2014 : S...
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National Diet Library
- Subject Heading...et lithography EUV
Digital文書・図像類
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- Subject HeadingEUV Plasmasphere He ion 30.4 nm
- Note (General)...探査機に搭載される極端紫外光(EUV)撮像装置PHOENIX(Pl......)なものとなる．超小型探査機にEUV撮像器を搭載する際に特に問題と......う集光能力の低下である．また，EUV領域の光を透過する窓材は存在し......基に，超小型探査機に搭載可能なEUV撮像装置の光学系の最適化を図っ...... Ultra Violet (EUV) imaging devic......installing the EUV imager in the ......s light in the EUV range, the opt...... system of the EUV imaging device which can be m...
- Alternative TitleDevelopment of Ultra-small Imaging Device, PHOENIX, for Plasmaspheric EUV Radiation
Paper図書
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- Subject Heading...päischen Union EUV AEUV European Union European coope...
- Subject Heading (ID)...päischen Union EUV AEUV European Union European coope...
- Alternative TitleEUV, AEUV : mit Europäischer Grundrecht...
Digital博士論文
Available onlineOther Libraries in Japan
- Summary, etc.... Ultra Violet: EUV)を用いたリソグラフィにおいて、実用に近いEUV露光システムの微細パターン転写による実証、高性能EUV分子レジストの開発およびコンタ......ン制御技術の原理実証を行ない、EUVリソグラフィ実現の可能性を明ら......る光の波長が13.5nmであるEUVリソグラフィ技術が注目されている。EUVリソグラフィ実現のためには高出力安定EUV光源、EUV露光システム、高品質マスク、高性能EUVレジストの開発が必須とされてい......文ではこれらの技術課題のうち、EUV露光システム、高性能EUVレジストおよびそれらの関連課題......細化とリソグラフィ技術の進展、EUVリソグラフィの概要と位置付け、......す。第2章では、より実用に近いEUV露光システムの開発と微細レジス......3)の非球面2枚光学系からなるEUV露光システム(HINA)の開発......す。第3章では、第2章で述べたEUV露光システムを用いた高性能EUV分子レジストの開発を示す。ライ......度が稼げる分子設計を行い、先のEUV露光システムを用いてパターン倒......度・低LER性能を有する高性能EUVレジストを実現する。第4章では......から発生させた原子状水素によるEUV光学系の低損傷クリーニングを示す。EUV光学系の表面保護膜にコンタミネ......元され、ダメージがほとんどなくEUV反射率がほぼ回復することを明らかにする。さらに石英管で輸送し...
- Subject HeadingLithography multilayer EUV resist Atomic hydrogen
- Note (General)...解像性能実証||第3章 高性能EUV分子レジストの開発||第4章 原子状水素による低損傷コンタミ...