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高温動作熱電発電用電極材料の検討

Paper図書

松井, 利之, 大阪府立大学1998-1999<Y151-H10650671>

National Diet Library

Subject HeadingTiB2薄膜電気伝導特性薄膜電極材料 RFスパツタリングホツトプレス

Er添加ガーネツト結晶薄膜を用いた広帯域高効率集積型増幅器および回路の研究

Paper図書

宮崎, 保光, 豊橋技術科学大学1999-2001<Y151-H11555101>

National Diet Library

Subject Heading導波路型光増幅器 RFスパツタリング法ガーネツト Erイオン蛍光分光特性パルス応答特性液...

電子管集積回路用MIS型トンネル冷陰極へのダイヤモンド薄膜の応用

Paper図書

宇佐美, 興一, 電気通信大学1996-1997<Y151-H08650403>

National Diet Library

Subject Heading冷陰極 MIS型冷陰極トンネルエミツシヨントンネル効果ダイヤモンド薄膜 DLC 絶縁膜 RFスパツタリング

3次元サブミクロン構造フオトニツク結晶の実験的理論的研究

Paper図書

川上, 彰二郎, 東北大学1998-1999<Y151-H10044120>

National Diet Library

Subject Headingフオトニツク結晶サブミクロン周期構造フオトニツク・バンドギヤツプ偏光子偏光分離素子 rfスパツタリングスパツタエツチ

積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究

Paper図書

川上, 彰二郎, 東北大学1994-1996<Y151-H06555011>

National Diet Library

Subject Heading光集積デバイス偏光分離素子光アイソレータ光スイツチ多層膜 RFスパツタリングプラズマCVD

新材料層間化合物半導体の電界光変調型光導電素子の開発

Paper図書

大山, 昌憲, 東京工業高等専門学校1995-1996<Y151-H07555114>

National Diet Library

Subject Heading化合物半導体層状化合物光導電材料電子ビーム蒸着 RFスパツタリング光センサー材料光変調素子

極端紫外光リソグラフイ用薄膜の最適設計と分光エリプソメトリによるその評価法の研究

Paper図書

山口, 十六夫, 静岡大学1997-1999<Y151-H09650048>

National Diet Library

Subject Heading極端紫外光リソグラフイ超解像マスク単層ハーフトーン位相シフトマスク a-SiNX 分光エリプソメトリ堆積過程モニタリング基板温度監視 RFスパツタリング

誘電体結晶薄膜を用いた集積型光増幅器の試作

Paper図書

宮崎保光, 豊橋技術科学大学1995-1997<Y151-H07555120>

National Diet Library

Subject Heading導波路型光増幅器 RFスパツタリング装置ガーネツト希土類イオン分光特性装荷型三次元導波路...

高分子スパツタ膜と金属との付着性に関する研究

Paper図書

山田, 良穂, 金沢大学1989-1990<Y151-H01550056>

National Diet Library

Subject Heading高分子薄膜 RFスパツタリング AE信号 ESCA 引っかき試験摩擦耐久性引っ張り法 ...

高分子スパッタ膜と金属との付着性に関する研究

Digital文書・図像類

山田, 良穂, Yamada, Yoshinori1991-03-01平成2(1990)年度科学研究費補助金一般研究(C) 研究成果報告書 = 1990 Fiscal Year Final Research Report1989-1990p.108p.-

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Subject Heading高分子薄膜 RFスパッタリング AE信号 ESCA 引っかき試験摩擦耐久性引っ張り法 ...

貴金属および遷移金属のナノクラスタをドープしたカーボン薄膜の電気的および機械的特性に関する研究

Digital博士論文

Yabe, Mitsunori

Available onlineOther Libraries in Japan

Subject HeadingRFスパッタリング｜薄膜｜磨耗特性

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