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Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
Paper図書
社本英二, 名古屋大学 [著][社本英二]2003-2004<Y151-H15360069>
National Diet Library
  • Subject Heading超機密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空

Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発

Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発
Paper図書
社本, 英二, 名古屋大学2001-2002<Y151-H13555036>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密アライメント装置 半導体製造装置 圧電素子 XYθテ-ブル 位置決め装置 真空

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
Paper図書
社本, 英二, 神戸大学1998-1999<Y151-H10555041>
National Diet Library
  • Subject HeadingWalking Drive 圧電素子 超精密位置決め 送り装置 XYθテーブル 高剛性 高分解能 デユアルモード駆動システム

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
Paper図書
森脇, 俊道, 神戸大学1995-1996<Y151-H07455066>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロマニユフアクチヤリング 電子顕微鏡 楕円振動切削 切削力 ばり Walking Drive 超精密位置決め XYΘテーブル

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