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- Alternative Title多種物理量が同時計測できるMEMS 運動センサーの研究
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- Alternative Title四重質量振動子を用いた周波数変調MEMS磁場センサ
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- Note (General)... crystal-based MEMS magnetic sensors (結晶ベースのMEMS磁気センサーの製造と特性). 信州大学, 2023, 博士論...
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- Alternative Title...logy; photonic MEMS, THz MEMS, and metamaterials; and AI in...
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- Summary, etc....ice packaging, MEMS for bio device......, Photonic and MEMS Packaging is the ideal book f...
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- Alternative Title大きな対寸法変位を有するムービングマグネット及びムービングコイル型3軸電磁MEMSアクチュエータ
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- Alternative Title液相TEMによるその場実験用多機能MEMS素子
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- Contents...uminum Nitride MEMS Resonators and......ianluca Piazza MEMS Using CMOS Waf...... Piezoelectric MEMS / T Takeshi Kobayashi (AIST) ...
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- Alternative Title...emiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019 : at SPI...
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