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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Toc / Article第1部 ドーピングの基礎 第1章 シリコン中の1×10^10から1×10......トルミネッセンス評価 第2章 シリコン基板中のドーパントとその制御 第3章 シリコン中の不純物原子の活性化とそのか......いた光電子ホログラフィーによるシリコン中の高濃度ドーパントクラスター......原子配列構造解析 第2部 ナノシリコンデバイス 第6章 シリコンデバイスへのドーピング技術の事共 第7章 シリコンナノ結晶への不純物ドーピング ......純物ドーピングと評価 第9章 シリコンへの高濃度ドーピングにおける活......技術 第11章 パワー半導体用シリコンウェーハにむけた中性子核変換ド......理的課題と技術的挑戦 第1章 シリコン中の1×10^10から1×10^20cm^−3にわたる濃度範...
- Summary, etc.ドーピングにより生じるシリコン内の現象を深く理解できる
- Subject Headingシリコン (半導体)
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- Toc / Article... 1 はじめに 2 基本となるシリコン(Si)半導体の加工プロセスと......ライシング法の原理 3 単結晶シリコンのスライシング 4 単結晶Si......ング 1 ELID研削法 2 シリコンウェーハのELIDロータリ研削......3 ラッピング装置の機構 4 シリコンウエーハのラッピング 5 ラッ......変化 3 加工技術の特徴 4 シリコンウエハの両面同時ラッピング 5......エハの両面同時ラッピング 6 シリコンウエハの両頭研削技術 7 Si......機構 2 エッチング反応 3 シリコンエッチングプロセス 4 まとめ 第16章 シリコンおよび次世代デバイス材料のウェットエッチング加工 2 単結晶シリコンのウェットエッチング加工 3 ......れる超純水のレベル 第25章 シリコンウェーハ表面の精密洗浄技術 2......特徴 3 レーザ集光過程 4 シリコンへのパルスレーザ照射と改質域の性状 5 適用例の拡大と今後の...
- Subject Headingシリコン (半導体) 化合物半導体
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- Subject Headingシリコン整流器
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- Subject Headingシリコン (半導体)
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- Subject Headingシリコン (半導体)--特許--日本 オプトエレクトロニクス--特許...
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- Subject Headingトランジスタ シリコン (半導体)
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- Toc / Article...1章 フォトニクス応用のためのシリコンの基礎 第2章 集積シリコンフォトニクス 第3章 モノリシックシリコン微小フォトニクス 第4章 光相互接続 第5章 モノリシックシリコン光源 第6章 シリコン微小構造における誘導Raman......増幅，および波長変換 第7章 シリコン光受信器 第8章 シリコン系導波路 第9章 シリコン系フォトニック結晶 第10章 波長分割多重化のためのシリコン系導波路技術 第11章 シリコンデバイスによる光変調 第Ⅱ部 部品と集積技術 第12章 シリコン細線光導波路：基礎と応用 第13章 クラッド応力設計によるシリコン光導波路部品の偏光制御 第14章 回折格子を用いるシリコンナノ光集積回路と単一モード光フ......チップ光源のためのEr添加窒化シリコンと珪酸Erの開発と応用 第16章 シリコンフォトニクスの可能性を広げるゲルマニウム 第17章 シリコンフォトニクス：システムオンチップの展望 第18章 シリコンプラットフォーム上の高速フォト......1章 高密度光相互接続のためのシリコン光インタポーザ 第22章 シリコン量子フォトニクス 第23章 温度無依存シリコンフォトニクス 第24章 シリコンフォトニクスにおける設計フロー......ハードウェア－ソフトウェア集積シリコンフォトニクス 第26章 シリコンフォトニクス商用化への道：ファンドリモデルの考察 第27章 シリコンフォトニクスデバイスのパッケージ 第28章 シリコンフォトニ...
- Subject Headingシリコン (半導体) オプトエレクトロニクス
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- Toc / Article第1章 シリコン貫通電極の重要性 1 LSIは......から3次元へ 2 3次元構造のシリコンデバイス 3 TSVデバイスの...... 第3章 TSV作成技術 1 シリコン深堀エッチング 2 ビアエッチ...... 銅フィリングめっき 9 ポリシリコン充填ビア 10 タングステン充......ングビア 2 エルピーダのポリシリコンビアDRAM 3 日立の常温接......ンサ 16 STマイクロのポリシリコンビア 17 CEA-Letiの......EAのイメージセンサ 第6章 シリコンTSVインターポーザ 1 イン......の電気的特性と熱特性 1 ポリシリコンビアの直流抵抗 2 タングステ......冷却構造 11 デバイス冷却用シリコンインターポーザ 12 新光電気のインターポーザレスパッケージ...
- Subject Headingシリコン (半導体)
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- Subject Heading結晶シリコン太陽電池 / シリコン窒化膜 / アモルファスシリコン薄膜 / パッシベーション
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- Contents...威 著 アボガドロ定数の測定とシリコン結晶の品質 藤本弘之, 早稲田......著 X線トポグラフィによるCZシリコン単結晶中格子欠陥の3次元分布 梶原堅太郎 著 シリコンの真正点欠陥研究の過去・現在・...... 井上直久 著 不完全な無転位シリコン結晶の多波長SL-X線による消......か著 X線トポグラフィから見たシリコン単結晶の完全性 川戸清爾 著 ......iro Yonenaga 著 シリコン単結晶利用研究 X線多重回折を用いた屈折コントラストイメージ...
- Subject Headingシリコン (半導体) 単結晶
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- Subject Headingマイクロ波加熱 / 多結晶シリコン / 多結晶シリコン・ゲルマニウム
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- Subject Heading化学気相堆積 / 窒化シリコン薄膜 / 炭窒化シリコン薄膜 / 有機窒化シリコン / 活性窒素 / 質量分析
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- Subject Heading太陽電池 シリコン (半導体)--リサイクル
- Authority（Author Heading/altLabel）...究所システム検証研究ラボ 薄膜シリコン系太陽電池開発研究ラボ ライフエレクトロニクス研究ラボ デジ...
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- Subject Headingインバータ--規格 シリコン制御整流器--規格
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- Subject Heading太陽電池 シリコン (半導体)
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