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- Subject HeadingCu配線 / ドライプロセス / 真空アーク蒸着 / 磁気輸送フィルタードアーク / T-FAD / マ...
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- Subject Heading高密度プラズマ PVD 超硬質薄膜 薄膜合成 ヘリコン波 真空アーク 窒化炭素薄膜 カーボン薄膜
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- Subject Heading窒化アルミニウム 真空アーク アーク蒸着装置 酸化チタン膜 質量・イオンエネルギー分析
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- Subject Heading真空アーク アーク減衰過程 プラズマ 2次元分光測定 真空遮断器
- Note (General)金沢大学理工研究域電子情報通信学系 電力用真空開閉器における真空アーク放電の制御のため,本研究は,電......からの金属蒸気により構成される真空アーク減衰過程における金属蒸気挙動,......ことを目的とした.本研究では,真空アーク生成実験系の構築および真空アーク減衰過程の実時間2次元分光測定系の構築を行い,真空アークの自然拡散過程観測のため,IGBTを利用した高再現性・高速応...
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- Subject Heading窒化アルミニウム膜 真空アーク蒸着 拡張シールド型 ドロツプレツトフリー 光学的特性 機械...
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