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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Heading電解研磨
- Authority(Subject Heading/altLabel)電気化学的研磨 Electrolytic polishing
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)金属表面処理 研磨法
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National Diet Library
- Subject Heading三昌研磨材株式会社
- Authority(Subject Heading/altLabel)三昌研磨材
- Author Heading三昌研磨材株式会社
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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading東京ステンレス研磨興業株式会社
- Authority(Subject Heading/altLabel)東京ステンレス研磨興業
- Author Heading東京ステンレス研磨興業株式会社
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- Toc / Article第1章 CMP 装置 1. CMP 装置の構成 1.1 研磨方式のいろいろ 1.2 枚葉研磨と複数枚研磨 1.3 装置構成と生産性 1.4 装置の全体構成 2. 研磨ヘッド 2.1 研磨ヘッドの変遷①加圧方式 2.2 研磨ヘッドの変遷②リテーナーリング 2.3 研磨ヘッドの変遷③ゾーンコントロー......3 スラリーの評価方法 2. 研磨パッド 2.1 研磨パッドの種類と製造方法 2.2 研磨パッドの物性と研磨特性の関係 2.3 研磨パッドのバルク物性とその評価方法 2.4 研磨パッドの表面物性とその評価方法 2.5 研磨パッドの溝形状と研磨特性への影響 3. パッドコン......ショナーの構成と役割 3.2 研磨パッドコンディショイングのマク......ス用基板 CMP 四方山話④ 研磨、ポリッシング、MCP、CMP......Pの材料除去メカニズム 1. 研磨メカニズム・モデルの歴史 1.......デルの妥当性確認実験 2.3 研磨レートの圧力依存性に関する考察 2.4 フェレ径モデルの数値...
- Subject Heading集積回路 研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)電子回路 液体ホーニング 光集積回路 化学研磨 大規模集積回路 電解研磨 マイクロ波集積回路 研磨材 CMOS ハードウェア記述言語 機械工作 演算増幅器 I...
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- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Toc / Article...ローバル平坦化プロセス (1)研磨パッドによる平坦性の改善 (2......イクロスクラッチの改善 (4)研磨パッド(パッドコンディショナー......よる生産性の改善 2.3.3 研磨パッドによる生産性の改善 2.......向 1. コンディショナ仕様と研磨特性 1.1 コンディショナ仕様 1.2 研磨特性への影響 2. スクラッチ...... 2. 計測評価事例 2.1 研磨レート調整 2.2 終点検知の......第1節 CMPプロセスにおける研磨圧力と研磨効率の可視化技術 1. 研磨圧力分布の可視化技術 1.1 ジンバル機構ヘッド使用時の研磨圧力分布解析 1.2 リテーナ......エアバッグタイプヘッド使用時の研磨圧力分布解析 2. 研磨効率分布の可視化技術 第2節 ......置における終点検出技術 1. 研磨膜厚の制御による研磨状態のコントロール 2. 研磨終点検出技術 2.1 様々な終......る相補的な終点検出法 第3節 研磨材/水/基材界面の電気特性評価によるCMPメカニズムの解明と研磨効率改善への応用 1. CMPにおける化学研磨と機械研磨の分離 2. 研磨過程における化学反応:化学研磨 3. 界面抵抗評価による水和層の定量的評価 4. 研磨による電位変化評価による水和生成エネルギーの評価 5. 化学研磨性の指標としての電位変化 第4節 曲面研磨に適した小径研磨工具の挙動評価とその指針提示 1. バフ研磨法と磁気研磨法の...
- Subject Heading集積回路 研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)電子回路 液体ホーニング 光集積回路 化学研磨 大規模集積回路 電解研磨 マイクロ波集積回路 研磨材 CMOS ハードウェア記述言語 機械工作 演算増幅器 I...
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- Subject Heading包丁 研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)刃物 台所用品 液体ホーニング 料理 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading包丁 研磨砥石
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- Subject Heading包丁 研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)刃物 台所用品 液体ホーニング 料理 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading研磨砥石
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National Diet Library
- Subject Heading研削盤 研磨砥石
- Authority(Subject Heading/altLabel)研削機 研削砥石 研磨盤 グラインダー Grinding machines Gri...
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)工作機械 研削盤 研磨砥石 切削工具
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- Summary, etc.2012年刊「最新研磨技術」の普及版。切削から表面評価技術までを網羅し、最先端機器...
- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading研削盤 研磨砥石
- Authority(Subject Heading/altLabel)研削機 研削砥石 研磨盤 グラインダー Grinding machines Gri...
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)工作機械 研削盤 研磨砥石 切削工具
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- Subject Heading刃物 研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)包丁 剃刀 液体ホーニング はさみ 化学研磨 鎌 電解研磨 斧 研磨材 刃物業 機械工作
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- Subject Heading包丁 研磨法
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- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作
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- Subject Heading研磨法
- Authority(Subject Heading/broader/narrower)液体ホーニング 化学研磨 電解研磨 研磨材 機械工作