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マイクロ規格・テクニカルリポート類
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ENERGETIC ION BEAMS IN SEMICONDUCTOR PROCESSING: SUMMARY OF A DOE PANEL STUDY (SAND ; SAND-95-1453C)
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- 著者標目PICRAUX, S.T. CCHASON, E. POATE, J.M.
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- 著者標目POLMAN, A. JACOBSON, D.C. LIDGARD, A. POATE, J.M. ARNOLD, G.W.
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- 著者標目Poate, J.M. Appleton, B.R. Picraux, S.T. ...
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- 著者標目Poate, J.M. Peercy, P.S. Thompson, M.O.
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- 著者標目Clark, G.J. Poate, J.M.