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Metrology, inspection, and process control for microlithography 27 : 25-28 February 2013 : San Jose, California, United States : 27th conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : advanced lithography symposium : Feb 2013, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8681)
Metrology, inspection, and process control for microlithography 27 : 25-28 February 2013 : San Jose, California, United States : 27th conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : advanced lithography symposium : Feb 2013, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8681)
紙
図書
SPIE
c2013.
<M17-13-3592>
国立国会図書館
著者標目
Starikov, Alexander, 1952-
Cain, Jason P.
Metrology, inspection, and process control for microlithography 26 : 13-16 February 2012 : San Jose, California, United States : SPIE conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : Feb 2012, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8324)
Metrology, inspection, and process control for microlithography 26 : 13-16 February 2012 : San Jose, California, United States : SPIE conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : Feb 2012, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8324)
紙
図書
SPIE
c2012.
<M17-12-4063>
国立国会図書館
著者標目
Starikov, Alexander, 1952-
Design and process integration for microelectronic manufacturing 2 : 26-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 5042)
Design and process integration for microelectronic manufacturing 2 : 26-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 5042)
紙
図書
SPIE
c2003.
<M17-04-488>
国立国会図書館
著者標目
Starikov, Alexander, 1952-
Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002 : Santa Clara, USA. : conference on design and process integration for microelectronics manufacturing (DPI) : DPI 2002 : SPIE Micro 2002 : Mar 2002, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 4692)
Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002 : Santa Clara, USA. : conference on design and process integration for microelectronics manufacturing (DPI) : DPI 2002 : SPIE Micro 2002 : Mar 2002, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 4692)
紙
図書
SPIE
c2002.
<M17-03-4215>
国立国会図書館
著者標目
Starikov, Alexander, 1952-
Tobin, Kenneth W.
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