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エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
紙
図書
西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]
[西野茂弘]
2003-2004
<Y151-H15360010>
国立国会図書館
チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
紙
図書
西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]
[西野茂弘]
2001-2002
<Y151-H13450012>
国立国会図書館
エアーブリジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
エアーブリジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
紙
図書
研究代表者西野茂弘
[西野茂弘]
2005.3
全国の図書館
チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
紙
図書
[西野茂弘]
2003.3
全国の図書館
昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシャル成長
昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシャル成長
紙
図書
研究代表者西野茂弘
[西野茂弘]
1999
全国の図書館
光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長
光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長
紙
図書
研究代表者西野茂弘
[西野茂弘]
1991
全国の図書館
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