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スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製
スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製
紙
図書
星, 陽一, 東京工芸大学
1992-1993
<Y151-H04650272>
国立国会図書館
件名
窒化鉄薄膜 プラズマ源 スパツタ
イオンビームデポジツシヨン
軟磁性薄膜 高飽和磁化 薄膜ヘツド
スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製
スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製
紙
図書
星, 陽一, 東京工芸大学
1990-1992
<Y151-H02650229>
国立国会図書館
件名
窒化鉄薄膜
イオンビームデポジツシヨン
対向ターゲツト式スパツタ法 スパツタ形プラズマ源 軟磁性膜
スパツタ形大電流イオン源の開発とその酸化物高温超伝導体薄膜形成への応用
スパツタ形大電流イオン源の開発とその酸化物高温超伝導体薄膜形成への応用
紙
図書
星, 陽一, 東京工芸大学
1989-1990
<Y151-H01850065>
国立国会図書館
件名
スパツタ形イオン源 プラズマ源 対向ターゲツト式スパツタ法
イオンビームデポジツシヨン
金属イオン 窒化鉄薄膜 Co Cr薄膜 酸化物超伝導体薄膜
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