横谷篤至, 宮崎大学 [著][横谷篤至]2005-2006<Y151-H17560288>
国立国会図書館
- 件名積層型システムLSI / 絶縁膜 / 貫通電極 / 真空紫外光 / エキシマランプ / 光CVD
亀山晃弘, 黒澤宏, 宮崎大学 [著][亀山晃弘]2003-2005<Y151-H15360194>
国立国会図書館
- 件名真空紫外光 / エキシマランプ / 光CVD / 半導体絶縁膜 / 積層型システムLSI ...
杉村博之, 京都大学 [著][杉村博之]2005-2007<Y151-H17206073>
国立国会図書館
- 件名微細加工 / 真空紫外光 / 表面処理 / 有機材料 / 光リソグラフィ / エキシマランプ / 接合 / 光化学
佐藤, 三郎, 佐賀大学1997-1999<Y151-H09555218>
国立国会図書館
- 件名光造形 エキシマレーザ エキシマランプ 造形時間短縮 硬化歪み
窪寺昌一, 宮崎大学 [著][窪寺昌一]2001-2003<Y151-H13555202>
国立国会図書館
- 件名真空紫外光 / 光量子プロセス / 光化学反応 / 希ガスエキシマ / エキシマランプ / 表面反応 / ドライプロセス
亀山, 晃弘
全国の図書館
- 件名...o-second laser エキシマランプ, システムLSI, フェムト秒レーザー, 光CVD, 半導...