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自己クローニング現象を発現する
バイアススパッタ
の詳細なメカニズムの解明
自己クローニング現象を発現するバイアススパッタの詳細なメカニズムの解明
紙
図書
花泉修, 群馬大学 [著]
[花泉修]
2002-2004
<Y151-H14205054>
国立国会図書館
件名
自己クローニング /
バイアススパッタ
/ フォトニック結晶 / Siナノクリスタル / 青色発光...
高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
紙
図書
堀池靖浩, 東洋大学
1995-1995
<Y151-H05555089>
国立国会図書館
件名
デジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ
バイアススパツタ
超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究
超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究
紙
図書
大見, 忠弘, 東北大学
1985-1986
<Y151-S60460117>
国立国会図書館
件名
超高速LSI 純金属配線
バイアススパツタ
アルミニウム薄膜 銅薄膜
真空管IC用p-n接合トンネルエミツタに関する研究
真空管IC用p-n接合トンネルエミツタに関する研究
紙
図書
宇佐美, 興一, 電気通信大学
1989-1991
<Y151-H01550305>
国立国会図書館
件名
真空管IC 微小真空管 冷陰極 トンネルエミツタ トンネル効果 電子放出 半導体薄膜
バイアススパツタ
リング
RF-DC結合型
バイアススパッタ
装置
RF-DC結合型バイアススパッタ装置
紙
図書
柴田直, 東北大学
1987-1988
<Y151-S62850050>
国立国会図書館
件名
バイアススパツタ
低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタ...
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