南部健一, 東北大学 [著][南部健一]2002-2003<Y151-H14350088>
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- 件名プロセスプラズマ / 数値解析 / 粒子モデル / 誘導結合プラズマ
島田学, 広島大学 [著][島田学]2003-2005<Y151-H15360413>
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- 件名プラズマダスト / プロセスプラズマ / 低温プラズマCVD / エアロゾル / 凝集成長 / ...
安藤, 晃, 東北大学1997-1998<Y151-H09558053>
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- 件名プロセスプラズマ ラジカル中性粒子 四重極磁場 磁気中性点
赤塚洋, 東京工業大学 [著][赤塚洋]2004-2005<Y151-H16540446>
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- 件名衝突輻射モデル / 電子エネルギー分布関数 / 分光計測 / 希ガスプラズマ / アルゴンプラズマ / 2温度分布 / 高エネルギーテール / プロセスプラズマ
橘, 邦英, 京都大学2001-2002<Y151-H13480126>
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- 件名原子状ラジカル 真空紫外レ-ザ 吸収分光法 プロセスプラズマ 誘導結合プラズマ 炭素原子 酸素原子 絶対密度測定
内野, 喜一郎, 九州大学1998-1999<Y151-H10680462>
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- 件名プロセスプラズマ レーザー計測 トムソン散乱 赤外光 電子密度 電子温度 反...
後藤, 誠一, 大阪大学1999-2000<Y151-H11558053>
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- 件名表面処理技術 プロセスプラズマ 低摩擦膜 インバーター ダイヤモンド薄膜 トライボロジー ...
飯塚, 哲, 東北大学1999-2000<Y151-H11480105>
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- 件名微粒子プラズマ クーロン格子 微粒子渦流 電位駆動渦流 速度シア プロセスプラズマ 微粒子除去 微粒子集団運動
本田親久, 宮崎大学 [著][本田親久]2002-2003<Y151-H14550269>
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- 件名磁気中性線放電プラズマ / NLDプラズマ / プロセスプラズマ / スパッタリング / 容量結合型プラズマ / プラズマ局...
河合, 良信, 九州大学1991-1992<Y151-H03302056>
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- 件名渦 カオス 微粒子プラズマ 負イオンプラズマ イオンシース レーリーテーラー不安定性 プロセスプラズマ ホールソリトン
作田, 忠裕, 金沢大学1991-1992<Y151-H03650226>
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