年 〜
年

検索結果 3 件

光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発

光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発
紙図書
安永暢男, 東海大学 [著][安永暢男]2004-2005<Y151-H16560099>
国立国会図書館
  • 件名SiC単結晶 / メカノケミカルポリシング / 高温ポリシング / Fe203砥粒 / TiO2砥粒 ...

環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究

環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究
紙図書
安永, 暢男, 東海大学2000-2001<Y151-H12650122>
国立国会図書館
  • 件名メカノケミカルポリシング クリーン研磨技術 ドライ研磨 定圧研磨装置 シリコンウエハ...

加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作

加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作
紙図書
須賀, 唯知, 東京大学1990-1991<Y151-H02555017>
国立国会図書館
  • 件名デインプラ 透過電子顕微鏡観察 表面損傷 脆性材料 セラミツクス マイクロクラツク 粒界破壊 メカノケミカルポリシング

検索結果は以上です。