佐藤徳芳, 東北大学1996-1998<Y151-H08558043>
国立国会図書館
- 件名大面積プラズマ 均一プラズマ 高周波放電 変形マグネトロン型放電 大口径プラズマ 高密度...
佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>
国立国会図書館
- 件名大口径プラズマ 均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズマ マグネトロン型プラズマ ヘリ...
佐藤, 徳芳, 東北大学1993-1995<Y151-H05558053>
国立国会図書館
- 件名大口径均一プラズマ ECRアンテナ スロツトアンテナ プラズマプロセス エツチ...