河合, 良信, 九州大学2000-2001<Y151-H12558046>
国立国会図書館
- 件名電子サイクロトロン共鳴 半導体 大口径プラズマ 低電子温度 磁気ミラー 高次モード 異常波 高域混成波
作田, 忠裕, 金沢大学1996-1998<Y151-H08555067>
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- 件名低周波磁界 大口径プラズマ プラズマ・プロセシング 高速プロセミング インバータ電源 ...
佐藤徳芳, 東北大学1996-1998<Y151-H08558043>
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- 件名大面積プラズマ 均一プラズマ 高周波放電 変形マグネトロン型放電 大口径プラズマ 高密度プラズマ マグネツトリング LC共振放電
佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>
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- 件名大口径プラズマ 均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズマ マグネトロン型...
河合, 良信, 九州大学1995-1996<Y151-H07558180>
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- 件名マイクロ波 大口径プラズマ ECRプラズマ マルチスロツトアンテナ シランガス 反応性...
作田, 忠裕, Sakuta, Tadahiro1999-12-07平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(A) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1996 – 1998p.2p.-
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- 件名低周波磁界 大口径プラズマ プラズマ・プロセシング 高速プロセシング インバータ電源 ...
- 一般注記...高くなることが判明した。2) 大口径プラズマへの微粒子負荷の導入 これら誘導プラズマ中に負荷としての原材...