検索結果 14 件
紙図書
国立国会図書館
- 件名収束イオンビ-ム 炭素薄膜 ケミカルベイパ-デポジシヨン マスクパタ-ン アルゴンイオ...
デジタル文書・図像類
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- 件名アモルファス炭素薄膜 化学ドーピング ヨウ素ドーピング
- 一般注記...報告書 研究概要:アモルファス炭素薄膜(以下,a-C:H 薄膜と呼ぶ)の電子デバイス応用を実現する...
紙図書
国立国会図書館
- 件名低周波プラズマ 反応性プラズマ CH4 H2プラズマ 時間、空間分解発光分光分析 RFプラズマのモデリング デポジシヨン 炭素薄膜 低周波放電構造
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