検索結果 10 件
紙図書
国立国会図書館
- 件名多結晶シリコン 界面制御 結晶構造 基板のプラズマ処理 一軸配向 エツチング効果 結合構造 表面モフオロジー
紙図書
国立国会図書館
- 件名シリコン窒化膜 シリコン酸化膜 プラズマCVD 結合構造 電荷移動モデル ランダム結合モデル 赤外吸収 ストレス
デジタル規格・テクニカルリポート類
全国の図書館
- 件名群移動ロボット,情報結合構造,協調把持,協調取り囲み,マルチエージェントシステム,フォー...
- 一般注記出版タイプ: VoR type:text 本課題では「情報結合構造の変化を考慮した群移動ロボット......, 更には時間的に変化する情報結合構造に対応した新しい取り囲み制御則......作用力を考慮し, 固定した情報結合構造に対するターゲット把持を達成し......後に, 「時間的に変化する情報結合構造に対するターゲット把持」を達成する制御則の導出を行った. ま...
デジタル規格・テクニカルリポート類
全国の図書館
- 件名シリコン窒化膜 シリコン酸化膜 プラズマCVD 結合構造 電荷移動モデル ランダム結合モデル 赤外吸収 ストレス S...
- 一般注記...絶縁膜としての高品質化と微視的結合構造の変化との間には密接な関係が見......VD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析」課題番号05650009(KAKEN:科学研究費...