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検索結果 13 件

高効率オゾン発生装置の開発を目指した高圧酸素高周波放電の基礎的研究

高効率オゾン発生装置の開発を目指した高圧酸素高周波放電の基礎的研究
紙図書
木村高志, 名古屋工業大学 [著][木村高志]2004-2005<Y151-H16560242>
国立国会図書館
  • 件名大気圧 / 高周波放電 / 無声放電 / オゾン / オゾン生成効率 / ヘリウム...

高分解能レーザー分光法にもとづく窒化炭素材料の水素量制御と電界放出素子への展開

高分解能レーザー分光法にもとづく窒化炭素材料の水素量制御と電界放出素子への展開
紙図書
伊藤治彦, 長岡技術科学大学 [著][伊藤治彦]2002-2004<Y151-H14550721>
国立国会図書館
  • 件名CNラジカル / 膜重量 / 付着確率 / レーザー誘起蛍光法 / アモルファスCN膜 / 高周波放電 / CH_4/N_2系 / 高周波バイアス

プラズマの基礎教育を目的とした学生実験装置の開発

プラズマの基礎教育を目的とした学生実験装置の開発
紙図書
佐々木[アキ]彦, 宮城工業高等専門学校 [著][佐々木[アキ]彦]2002-2003<Y151-H14580525>
国立国会図書館
  • 件名磁化プラズマ / 真空技術 / 熱陰極放電 / 気体の絶縁破壊 / 高周波放電 / PIG放電 / 電子・イオンの偏向 / コロナ放電

電子温度制御による高効率負イオン生成

電子温度制御による高効率負イオン生成
紙図書
飯塚, 哲, 東北大学1995-1997<Y151-H07558061>
国立国会図書館
  • 件名電子温度制御 振動励起 水素負イオン 解離付着 高周波放電 低電子温度 高エネルギー電子

面発光型可変色平板光源の開発

面発光型可変色平板光源の開発
紙図書
竜子, 雅俊, 明石工業高等専門学校1996-1997<Y151-H08555071>
国立国会図書館
  • 件名可変色 外部電極 ITO透明電極 負グロー 蛍光体 高周波放電 誘電体コーテイング バリアー放電

管壁負グローを利用した発光色可変光源の開発

管壁負グローを利用した発光色可変光源の開発
紙図書
竜子, 雅俊, 明石工業高等専門学校1994-1995<Y151-H06555084>
国立国会図書館
  • 件名色温度制御 外部電極 透明電極 負グロー 蛍光体 高周波放電 蛍光体ランプ 二重放電

無電極メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析

無電極メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析
紙図書
濱本, 誠, 大分大学1998-1999<Y151-H10650286>
国立国会図書館
  • 件名メタルハライド放電 高周波放電 高輝度放電ランプ 無電極ランプ 発光分光計測 レーザー誘起...

変形マグネトロン型プラズマ源の開発

変形マグネトロン型プラズマ源の開発
紙図書
佐藤徳芳, 東北大学1996-1998<Y151-H08558043>
国立国会図書館
  • 件名大面積プラズマ 均一プラズマ 高周波放電 変形マグネトロン型放電 大口径プラズマ 高密度プラズマ マ...

メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析

メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析
紙図書
濱本, 誠, 大分大学1996-1997<Y151-H08650341>
国立国会図書館
  • 件名メタルハライド放電 高周波放電 高輝度放電ランプ 無電極ランプ 発光分光計測 レーザー誘起...

3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証

3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証
紙図書
南部, 健一, 東北大学1995-1997<Y151-H07555059>
国立国会図書館
  • 件名希薄気体流 高周波放電プラズマ プラズマプロセシング PIC法 直流放電プラズマ ...

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明
紙図書
渡辺, 征夫, 九州大学1991-1992<Y151-H03452094>
国立国会図書館
  • 件名シランプラズマ 微粒子 パウダー パーテイクル アモルフアスシリコン レーザ散乱法 微粒子プラズマ 高周波放電

電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化

電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化
紙図書
飯塚, 哲, 東北大学1991-1992<Y151-H03680002>
国立国会図書館
  • 件名低エネルギー電子 プラズマプロセス 高周波放電 室温プラズマ ホロー陰極 電子温度制御 プラズマ化学 反応...

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発
紙図書
菅井秀郎, 名古屋大学1989-1990<Y151-H01880002>
国立国会図書館
  • 件名プラズマプロセス プラズマエツチング プラズマCVD 表面磁場 多極磁場 高周波放電 フラグメンテーシヨン プラズマ・表面相互作用

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