黒田, 敏雄, 大阪大学1993-1995<Y151-H05555199>
国立国会図書館
- 件名プラズマ熱源 多機能試験炉 プラズマ炉 高エネルギー 超高温 大出力 機能性材料 TiN膜
松室, 昭仁, 名古屋大学1995-1996<Y151-H07555362>
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- 件名イオンビームミキシングプロセス TiN膜 窒化炭素膜 傾斜機能膜 機械的性質 マイクロパーツ 紫外線...
森, 敏彦, 名古屋大学1993-1994<Y151-H05555043>
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- 件名反応性スパツタリング 高周波スパツタリング マグネトロンスパツタリング 機能性コーテイング 傾斜機能膜 TiN膜 W膜
伊藤, 太一郎, 大阪府立大学1985-1988<Y151-S60550463>
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- 件名Siデバイス イオンプレーテイング (IP) 法 拡散バリア TiN膜 固相反応 TiSi2 (チタンシリサイド)