杉山, 進, 立命館大学1996-1998<Y151-H08455046>
国立国会図書館
- 件名デイープX線リソグラフイー 高アスペクト微細構造体 シンクロトロン放射光 X線マスク ...
松村, 英樹, 広島大学1985-1986<Y151-S60850069>
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- 件名微細加工技術 リソグラフイー X線リソグラフイー
小舘香椎子, 日本女子大学1987-1988<Y151-S62550033>
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- 件名深紫外リソグラフイー 軟X線リソグラフイー微小光学素子 フレネルブーンプレート 高効率格子
中井, 貞雄, 大阪大学1986-1987<Y151-S61850071>
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- 件名レーザープラズマ 高出力レーザー レーザー光の波長変換 非線型光学結晶 高輝度点X線源 X線リソグラフイー サブミクロン加工