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Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
紙
図書
社本英二, 名古屋大学 [著]
[社本英二]
2003-2004
<Y151-H15360069>
国立国会図書館
件名
超機密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 /
XYθテーブル
/ 位置決め装置 / 真空
Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発
Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発
紙
図書
社本, 英二, 名古屋大学
2001-2002
<Y151-H13555036>
国立国会図書館
件名
超精密アライメント装置 半導体製造装置 圧電素子
XYθテ-ブル
位置決め装置 真空
Walking Driveによる超精密高速
XYθテーブル
の開発
Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
紙
図書
社本, 英二, 神戸大学
1998-1999
<Y151-H10555041>
国立国会図書館
件名
Walking Drive 圧電素子 超精密位置決め 送り装置
XYθテーブル
高剛性 高分解能 デユアルモード駆動システム
走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
紙
図書
森脇, 俊道, 神戸大学
1995-1996
<Y151-H07455066>
国立国会図書館
件名
マイクロマニユフアクチヤリング 電子顕微鏡 楕円振動切削 切削力 ばり Walking Drive 超精密位置決め
XYΘテーブル
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