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高圧下でのスパツタ製膜法の開発
高圧下でのスパツタ製膜法の開発
紙
図書
浦尾, 亮一, 茨城大学
1996-1998
<Y151-H08650865>
国立国会図書館
件名
プラズマ スパツタリング イオン窒化
プラズマ窒化
窒化
プラズマ表面硬化処理を施した歯車のスコーリング強さ
プラズマ表面硬化処理を施した歯車のスコーリング強さ
紙
図書
河野正来, 呉工業高等専門学校 [著]
[河野正来]
2002-2003
<Y151-H14550134>
国立国会図書館
件名
プラズマ表面硬化処理 / 歯車 / スコーリング / プラズマ浸炭 /
プラズマ窒化
/ ラジカル窒化 / 二円筒試験 / 動力循環式歯車試験機
完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究
完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究
紙
図書
横山, 道央, 東北大学
1996-1998
<Y151-H08455157>
国立国会図書館
件名
自己整合 メタライゼーシヨン 選択AICVD 寄生抵抗 シリサイド TiNバリア
プラズマ窒化
MOSFET
障壁層制御による10K動作高集積化ジヨセフソン接合素子に関する研究
障壁層制御による10K動作高集積化ジヨセフソン接合素子に関する研究
紙
図書
早川, 尚夫, 名古屋大学
1997-1998
<Y151-H09305026>
国立国会図書館
件名
10K動作 超伝導体 NbN ジヨセフソン接合 オーバーダンプ特性
プラズマ窒化
障壁 高臨界電流密度
DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質
DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質
紙
図書
冨井, 洋一, 京都大学
1993-1994
<Y151-H05555189>
国立国会図書館
件名
プラズマジエト CVD ダイヤモンド 異種金属接合
プラズマ窒化
パーコレーシヨン 超伝導物質 超音波はんだ
制御プラズマによる機能性セラミツク・コーテイング材料の合成と表面改質
制御プラズマによる機能性セラミツク・コーテイング材料の合成と表面改質
紙
図書
山科, 俊郎, 北海道大学
1987-1990
<Y151-S62430015>
国立国会図書館
件名
プラズマ セラミツクス 表面改質 薄膜 プラズマ診断
プラズマ窒化
ガス窒化 発光スペクトル
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