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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究
窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究
紙
図書
橋詰, 保, 北海道大学
1999-2001
<Y151-H11650309>
国立国会図書館
件名
GaN 表面制御 界面制御 MIS接合 フエルミ準位ピンニング 表面処理
自然酸化膜
ECRプラズマ
界面制御に基づいたGaNへの金属電極形成技術の開発研究
界面制御に基づいたGaNへの金属電極形成技術の開発研究
紙
図書
橋詰, 保, 北海道大学
1999-2001
<Y151-H11555081>
国立国会図書館
件名
GaN 表面制御 界面制御 シヨツトキー接合 フエルミ準位ピンニング オーミツク接合 表面処理
自然酸化膜
水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現
水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現
紙
図書
服部, 健雄, 武蔵工業大学
1994-1996
<Y151-H06452123>
国立国会図書館
件名
水素終端 シリコン
自然酸化膜
プレオキサイド 界面構造 初期酸化 酸化反応 原子スケール
超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究
超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究
紙
図書
服部, 健雄, 武蔵工業大学
1988-1990
<Y151-S63850009>
国立国会図書館
件名
光電子分光法 XPS 軟X線励起光電子分光法 ZrMζ線 回転ターゲツト シリコン酸化膜@シリコン界面
自然酸化膜
熱酸化膜
その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明
その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明
紙
図書
服部, 健雄, 武蔵工業大学
1989-1991
<Y151-H01065003>
国立国会図書館
件名
X線光電子分光法 角度分解X線光電子分光法 赤外全反射吸収測定法 シリコン表面の清浄化 シリコン
自然酸化膜
シリコンの初期酸化 シリコン酸化膜/シリコン界面 シリコン...
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