森脇俊道, 神戸大学 [著][森脇俊道]2002-2003<Y151-H14350072>
国立国会図書館
- 件名球面モータ / Walking Drive / 圧電素子
社本, 英二, 神戸大学1998-1999<Y151-H10555041>
国立国会図書館
- 件名Walking Drive 圧電素子 超精密位置決め 送り装置 XYθテーブル 高剛性...
森脇, 俊道, 神戸大学1995-1996<Y151-H07455066>
国立国会図書館
- 件名マイクロマニユフアクチヤリング 電子顕微鏡 楕円振動切削 切削力 ばり Walking Drive 超精密位置決め XYΘテーブル
森脇, 俊道, 神戸大学1994-<Y151-H06555039>
国立国会図書館
- 件名Walking Drive 超精密加工機 圧電素子 精密送りテーブル 超精密位置決め ...