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National Diet Library
- Subject Heading中性フリーラジカルビーム / 可視CWレーザー光励起 / 負イオンビーム / 表面素過程制御 / 物性シミュレーション / 化学物理 / ナノマシン / ナノデバイスプロセス開発
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- Subject HeadingIII-V-N混晶 / デバイスプロセス / InGaPN / 電気伝導度制御 / 格子整合 / 発...
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- Subject Headingシリコンテクノロジー 一酸化二窒素ガス 急速熱処理 極薄シリコン酸窒化膜 デバイスプロセス
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- Subject Heading中性ラジカルビーム 半導体デバイスプロセス フリーラジカル 負イオン 光励起 化学物理 量子化学 反応...
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- Subject Heading中性フリーラジカルビーム 半導体デバイスプロセス 負イオンビーム レーザー光励起 表面素過程制御 化学物理 ...
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- Subject Heading中世フリーラジカルビーム / 可視CWレーザー光励起 / 負イオンビーム / 表面素過程制御 / 高精度その場観察手法 / 第一原物理性シミュレーション / 化学物理 / ナノデバイスプロセス開発
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- Subject Heading中性フリーラジカルビーム / 可視CWレーザー光励起 / 負イオンビーム / 表面素過程制御 / 高感度その場観察手法 / 第一原理物性シミュレーション / 化学物理 / ナノデバイスプロセス開発